زیرمه کول
بصیرت ترلاسه کړئ او د پراختیا پروسه ګړندۍ کړئ.
پرمختللې انرژي د مهمو پتلي فلم زیرمو غوښتنلیکونو او وسیلو جیومیټریونو لپاره د بریښنا رسولو او کنټرول حلونه وړاندې کوي. د ویفر پروسس کولو ننګونو حل کولو لپاره، زموږ د دقیق بریښنا تبادلې حلونه تاسو ته اجازه درکوي چې د بریښنا دقت، دقت، سرعت، او د پروسې تکرار وړتیا غوره کړئ.
موږ د RF فریکونسیو، DC بریښنا سیسټمونو، دودیز شوي بریښنا تولید کچې، مطابقت لرونکي ټیکنالوژۍ، او د فایبر آپټیک تودوخې څارنې حلونو پراخه لړۍ وړاندې کوو چې واقعیا تاسو ته د پروسې پلازما ښه کنټرول کولو توان درکوي. موږ د فاسټ DAQ™ او زموږ د معلوماتو ترلاسه کولو او لاسرسي سویټ هم مدغم کوو ترڅو د پروسې بصیرت چمتو کړو او د پراختیا پروسه ګړندۍ کړو.
زموږ د سیمیکمډکټر تولید پروسو په اړه نور معلومات ترلاسه کړئ ترڅو هغه حل ومومئ چې ستاسو اړتیاو سره سم وي.
ستاسو ننګونه
د مدغم سرکټ ابعادو نمونې کولو لپاره کارول شوي فلمونو څخه نیولې تر کنډکټیو او انسولیټیو فلمونو (برقی جوړښتونو) پورې، د فلزي فلمونو (انټر کنیکشن) پورې، ستاسو د زیرمه کولو پروسې د اټومي کچې کنټرول ته اړتیا لري - نه یوازې د هر ځانګړتیا لپاره بلکه په ټول ویفر کې.
د جوړښت هاخوا، ستاسو زیرمه شوي فلمونه باید لوړ کیفیت ولري. دوی باید د مطلوب غلې دانې جوړښت، یوشانوالي، او جوړښتي ضخامت ولري، او له تشې څخه پاک وي - او دا د اړین میخانیکي فشارونو (کمپریسیو او تناسلي) او بریښنایی ملکیتونو چمتو کولو سربیره دی.
پیچلتیا یوازې زیاتیږي. د لیتوګرافي محدودیتونو (فرعي 1X nm نوډونو) د حل لپاره، د ځان سره سمون لرونکي دوه ګوني او څلور ګوني نمونې کولو تخنیکونه ستاسو د زیرمه کولو پروسې ته اړتیا لري ترڅو په هر ویفر کې نمونه تولید او بیا تولید کړي.
زموږ حل
کله چې تاسو خورا مهم زیرمه کولو غوښتنلیکونه او د وسیلو جیومیټري ځای په ځای کوئ، تاسو د بازار باوري مشر ته اړتیا لرئ.
د پرمختللي انرژۍ د RF بریښنا رسولو او د لوړ سرعت میچ کولو ټیکنالوژي تاسو ته دا توان درکوي چې د بریښنا دقت، دقت، سرعت، او د پروسې تکرار وړتیا تنظیم او غوره کړئ چې د ټولو پرمختللو PECVD او PEALD زیرمو پروسو لپاره اړین دي.
زموږ د DC جنراتور ټیکنالوژۍ څخه کار واخلئ ترڅو ستاسو د ترتیب وړ آرک غبرګون، د بریښنا دقت، سرعت، او د پروسې تکرار وړتیا اړین PVD (سپټرینګ) او ECD جمع کولو پروسې ښه تنظیم کړئ.
ګټې
● د پلازما ثبات او د پروسې تکرار وړتیا ښه والی حاصلات زیاتوي
● د بشپړ ډیجیټل کنټرول سره دقیق RF او DC رسولو سره د پروسې موثریت غوره کولو کې مرسته کوي
● د پلازما بدلونونو او د قوس مدیریت ته چټک غبرګون
● د تطبیقي فریکونسي ټونینګ سره څو سطحي نبض کول د ایچ نرخ انتخاب ښه کوي
● د اعظمي وخت او محصول فعالیت ډاډمن کولو لپاره نړیوال ملاتړ شتون لري